PVDコーティング機を見る

イオンコーティング機とは主に真空蒸着機、真空マルチアークイオンコーティング機、真空中間周波マグネトロンスパッタリング塗装機、多機能中間周波マグネトロンなど、高真空下で行う必要のあるコーティングの種類を指します。スパッタリング マルチ アーク複合イオン コーティング マシン、真空光 (電子ビーム蒸着) コーティング マシン、真空コーティング装置の他のシリーズは、主なアイデアは、蒸発とスパッタリングの 2 つのタイプに分かれています。

イオン スパッタリング コーティングは、ほとんどの場合、反応性ガスの存在下で行われ、化合物堆積膜の安定性と光学定数は、ガスとカソード材料の種類に依存します。 一般的に使用される反応性ガスは酸素であり、一般的に使用されるカソード材料は、鉄、ニッケル、銅、鉛などであり、時には電気金属の金、プラチナ、パラジウム、インジウムおよびその他の金属です。 反応性スパッタリングによって形成された酸化物は、吸収のあるコーティング材料ですが、屈折率はあまり高くありません。

スパッタコーティングの操作は、スパッタコーティング装置と密接に関係しています。 現在、顕微鏡下のステージの位置に取り付けられた、市販の十分に洗練されたデバイスがあります。 スパッタリング成膜の際は、研磨した試料をパターンヘッドに載せ、電子銃（カソード）に対向する位置に傾け、スパッタリングチャンバー内の気圧を調整し、グロー放電、カソードスパッタリング、反応性スパッタリング成膜を行います。 一定時間経過後、スパッタリングを中断し、スパッタリングにより堆積した試料の表面を対物レンズに対向する位置に戻し、試料表面の色を観察して堆積膜厚を評価した。 必要な色が得られたら、コーティング作業を停止します。

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