PVD ツール コーティング マシン

真空PVDコーティング装置のシステム構成は？ 今日は簡単な紹介をさせていただきます。

（1）メインポンプ：真空システムでは、真空コーティング機の油拡散ポンプなど、特定のプロセス要件を満たすために必要な真空度を得るために使用される真空ポンプがメインポンプです。

(2) フォアライン ポンプ: 真空ポンプのフォアラインの圧力をその臨界フォアライン圧力未満に維持するために使用される真空ポンプ。 たとえば、ルーツ ポンプの前に構成されたロータリー ベーンまたはスプール バルブ ポンプは補助ポンプです。

(3) ラフポンプ: 大気圧から排気を開始し、システムの圧力を別の真空ポンプに排気して動作を開始する真空ポンプ。 たとえば、真空コーティング機のスライドバルブポンプは原油ポンプです。

（４）メンテナンスポンプ：真空系では風量が非常に少なく、補助ポンプを有効に使えない。 このため、メインポンプを維持するための容量の小さい補助ポンプを構成し、これを維持ポンプと呼びます。 例えば、メンテナンスポンプである拡散ポンプの出口には、小型のロータリーベーンポンプが装備されています。

実際、単純な真空システムでは大まかな真空しか得られません。 高真空が必要な場合、通常、高真空ポンプが真空システムに直列に接続されます。 例えば、ルーツポンプやスクリューポンプはいずれも高真空を得るポンプです。 高真空ポンプを直列に接続する場合、高真空ポンプ単体で真空を維持できるように、高真空ポンプの入口と出口にバルブを追加するのが一般的です。 直列に接続された高真空ポンプが油拡散ポンプの場合、多量の油蒸気が排気容器に逆流するのを防ぐために、通常、油拡散ポンプの入口に水冷バッフルであるトラップが追加されます。 . 要件に応じて、集塵機、真空リレー ゲージ ヘッド、真空フレキシブル接続パイプ、真空ポンプ入口空気放出バルブ、ラジエータなどをパイプラインに追加して、比較的完全な高真空システムを形成することもできます。

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