PVDコーティング機

真空コーティング機は、通常、真空チャンバー、真空ユニット、電気制御キャビネットの3つの部分で構成されています。 この機械の動作原理は何ですか? 今日は見てみましょう。

1. 真空本体 - 真空チャンバーのサイズは、処理される製品の要件によって異なります。 現在、最も広く使用されている直径は 1.3M、0.9M、1.5M、1.8M などです。チャンバーはステンレス鋼でできています。 サビや堅牢性などを必要としないため、真空チャンバーの各部には接続バルブがあり、各エアポンプを接続するために使用されます。

2.補助排気システム：排気システムは真空コーティング機の真空システムの重要な部分であり、主に3つの部分で構成されています：メカニカルポンプ、ブースターポンプ、油拡散ポンプ。 この排気システムは、「拡散ポンプ＋メカニカルポンプ＋ルーツポンプ＋極低温トラップ＋ポリコールド」で構成されています。 排気プロセスは次のとおりです。機械式ポンプは、最初に真空チャンバーを 2 0*10-2PA 未満の低真空状態に排気します。これは、その後の拡散ポンプの排気の前提となります。そして、拡散ポンプが真空チャンバーを排気すると、機械式ポンプが協働します。油拡散ポンプは直列に形成され、このようにしてポンピング動作を完了します。

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