小型PVDコーティング機

蒸着コーティングの基本的なプロセスフローは次のとおりです。

めっき前準備→真空引き→イオン照射→焼成→プリメルト→蒸着→ピックアップ→皮膜表面処理→完成品

1. めっき前の準備

メッキ部品の洗浄、蒸発源の製造と洗浄、真空チャンバー内のメッキ治具の洗浄、蒸発源の設置、メッキ部品の設置などの工程を含みます。

(1) メッキ部品の洗浄と取り扱い：

フィルム層とメッキ部品の表面との間の結合力の大きさは、製品の品質の重要な指標です。 それは多くの要因によって決定されますが、コーティング前の表面処理は最も基本的な要因の 1 つです。 メッキ部品の表面に油分、吸着水、ゴミ等があると、皮膜の結合力が低下し、表面粗さに影響を与えます。

化学脱脂。 さまざまな金属および非金属メッキ部品は、対応する脱脂および脱脂プロセスを採用する必要があります。 具体的な方法については、当サイトの技術欄で脱脂を検索すると関連記事がご覧いただけます。

電気集塵機。 メッキ部品は成形時に静電気が帯電しやすく、フィルム層にピンホールが発生したり、フィルムの接着力が低下する原因となるため、プライマーを塗布する前に静電気を除去する必要があります。

プライマー。 通常、蒸着底部の膜厚は{{0}}.05～0.1umですが、通常のメッキ部品の表面凹凸は0.5umであり、映画は穴を埋めるのに十分ではありません。 表面の粗さを減らすために、通常、メッキ部品の表面に7〜10umの特殊なプライマーを塗布して、ピットをなくし、表面を平らにする効果を達成します。

(2) 蒸発源の製作：

製品の使用条件とメッキ部品の材質に応じて、適切な蒸発材料を選択することが、高品質のフィルムを得る基本条件です。

金属フィルム材料を選択する際の基本原則は、良好な熱安定性と化学的安定性、高い機械的強度、低い内部応力、および一定の靭性、プライマーとの良好な結合、高い反射率、および真空中でのガス放出です。 小さな; 幅広い材料ソース、低価格、および対応する蒸発源。

異なる蒸着材料は、対応する蒸発源と蒸着メッキ方法を選択する必要があります。

(3) 真空チャンバーとめっき治具のクリーニング:

内蓋付きの真空チャンバーが汚れた場合は、カバーを取り外して清掃や更新ができます。 内側カバーがない場合は、炭酸カルシウムで拭き、次に水で拭き、最後に無水エタノールで拭きます。

一般的に使用されるアルミニウム製器具は、表面が茶色になるまで 20% の NaOH 溶液に浸し、次に流水ですすぎ、茶色が消えるまで HNO3 に浸し、洗浄して乾燥させることができます。

(4) 蒸発源を取り付けます。

脱脂手袋を着用するように注意し、ツールは事前に脱脂する必要があります。 蒸発源と電極の接触には十分ご注意ください。

(5) メッキ部品を配置します。

メッキ部品とメッキ部品の地面に安定してしっかりと配置して、蒸着中の固定具の回転によりメッキ部品が固定具から飛び散らないようにする必要があります。 脱脂手袋を着用し、しゃべらず、メッキ部分の治具を清潔に保ってください。

2.真空ステップ

冷却水バルブを開き、必要な水圧に調整し、主電源を接続し、真空チャンバーに通じる大気圧バルブを閉じ、パイプライン バルブを閉じ、機械ポンプ電源を起動し、予備真空バルブを開きます。 このとき、メカニカルポンプは真空チャンバー内を排気し、次にボンバードメントを伝導し、拡散ポンプの加熱電源をオンにし、予備真空バルブを閉じます。 拡散ポンプが動作要件に達したら、真空バルブを閉じ、パイプライン バルブを開き、高真空バルブを開きます。 、拡散ポンプ、真空チャンバーをポンピングするための機械式ポンプ。真空が特定の値に達すると、焼き、予備溶融、蒸発します。

3. イオン衝撃

グロー放電中、イオンが電子に衝突して高速になり、電子の移動度が大きいため、メッキ部分は急速に負に帯電します。 表面でエネルギー交換が行われ、めっき片の吸着層と活性ガスとの間で化学反応が起こり、表面のクリーニング効果が得られます。

イオンボンバードメントの条件は、残留ガス圧が0.13~13Paで安定しており、電圧が1.5~10kV、時間が5~60分です。

4. 焼く

メッキ部品や固定具に吸着したガスの急速な逃散を促進し、真空度やフィルム層の接着力を向上させるのに役立ちます。 焼き付けの際、非金属部品の焼き付け温度は、メッキ部品の熱変形温度より20～30度低くしてください。 金属の焼き付けは一般に 200 度を超えません。

5. 予備溶融

蒸発材料中の低融点不純物や蒸発源、蒸発材料に吸着したガスを除去することができ、蒸発の円滑な進行に寄与する。 予備溶融を繰り返す必要があり、蒸発材料が蒸発温度まで加熱されたときに真空度が下がらないことが一般的な要件です。

6.蒸発

蒸発技術はコーティングの品質に大きな影響を与え、一般金属、特殊金属、および化合物に対してさまざまな要件があります。 たとえば、一部の金属は迅速に蒸発させる必要がありますが、他の金属は適切ではありません。 加熱方法や蒸発源の形状も必要です。 蒸着材料によって異なります。

Longkou Bit は、PVD 真空コーティング装置の製造を専門としており、PVD 装置の販売、真空アクセサリおよび消耗品の販売、保守および修理、技術相談、ターンキーおよびその他のサービスを顧客に提供しています。 PVD装置には主に次のものが含まれます：マルチアークイオン真空コーティング装置、マグネトロンスパッタリング真空コーティング装置、蒸発シリーズ真空コーティング装置およびその他の複合真空コーティングモノマーおよび連続ライン装置。主に金属および非金属、プラスチック、複合材料およびその他の表面に使用されます処理プロジェクト、真空コーティング装置は、ハードウェア、金型、セラミック、衛生陶器、時計、3C、光学、化粧品、自動車、通信などの産業を含むさまざまな産業に適用されています。

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