真空蒸着コーティング技術の導入

真空コーティング機メーカーの真空蒸着コーティング技術には、抵抗蒸着コーティング、電子ビーム蒸着コーティング、レーザービーム蒸着コーティング、高周波誘導加熱蒸着コーティングなどがあります。次の表に、いくつかの蒸着コーティング技術の特性を示します。

1.抵抗蒸発めっき：抵抗蒸発源は、金、銀、硫化亜鉛、フッ化マグネシウム、三酸化クロムなどの低融点材料を蒸発させるために使用されます。抵抗蒸発源は通常、タングステン、モリブデン、タンタルでできています。

2.電子ビーム蒸着めっき：電子ビーム加熱によりフィルム材料を蒸着および蒸着した後、基板の表面に凝縮してフィルムを形成することは、真空蒸着技術における重要な加熱方法です。 そのようなデバイスには多くの種類があります。 薄膜技術の幅広い応用により、膜の種類の要件が多様であるだけでなく、膜の品質の要件もより厳しくなります。 抵抗蒸発は、一部の金属および非金属の蒸発のニーズを満たすことができなくなります。 電子ビーム熱源は、抵抗熱源よりもはるかに大きなエネルギー密度を得ることができ、その値は104-109 w / cm2に達する可能性があるため、フィルムを3000-6000cに加熱することができます。 これにより、高融点金属やタングステン、モリブデン、ゲルマニウム、SiO2、AI2O3などの非金属材料を蒸発させるためのより良い熱源が提供されます。さらに、蒸発する材料は水冷るつぼに配置されるため、容器材料および容器材料とフィルム材料との間の反応を回避することができ、これはフィルムの純度を改善するために非常に重要である。 また、フィルム材料の表面に直接熱を加えることができるため、熱効率が高く、熱伝導と熱放射の損失が少なくなります。

3.高周波誘導加熱蒸着：誘導加熱の原理を使用して、金属を蒸着温度まで加熱します。 フィルム材料が入っているるつぼをスパイラルコイルの中央に置き（非接触）、コイルに高周波電流を流します。これにより、金属フィルム材料に電流が発生し、蒸発するまでそれ自体が加熱されます。

誘導加熱蒸発源の特徴：1）蒸発速度が大きい2）蒸発源の温度が均一で安定しており、アルミドロップスプラッシュ現象が発生しにくい3）蒸発源が一度に充電される、ワイヤ送給機構が不要で、温度制御が比較的簡単で、操作が簡単です。4）フィルムの場合材料の純度要件はわずかに広くなります。

4.アーク加熱蒸着：電子ビーム加熱法と同様の加熱方法がアーク放電加熱法です。 また、抵抗加熱材料やるつぼ材料の汚染を回避する特性があり、加熱温度が高く、特に高融点で一定の導電性を持つ高融点金属や黒鉛などの蒸発に適しています。 同時に、この方法で使用される装置は、電子ビーム加熱装置よりも単純であるため、比較的安価な蒸発装置である。

5.レーザービーム蒸着めっき：高出力密度パルスレーザーを使用して材料を蒸着して薄膜を形成する方法は、一般にレーザー蒸着と呼ばれます。