ガラス真空アルミ蒸着装置

真空PVDコーティング機

基板材質: ガラス、金属 (炭素鋼、ステンレス鋼、真鍮)、セラミックス、プラスチック、ジュエリー。

• 構造タイプ: 垂直構造/水平構造、#304 ステンレス鋼。

●コーティングフィルム：多機能金属フィルム、複合フィルム、透明導電フィルム、反射率向上フィルム、電磁波シールドフィルム、加飾フィルム。

• フィルムの色: マルチ カラー、ガン ブラック、チタン ゴールデン カラー、ローズ ゴールデン カラー、ステンレス スチール カラー、パープル カラー、その他のカラー。

• フィルムの種類: TiN、CrN、ZrN、TiCN、TiCrN、TiNC、TiALN、および DLC。

• 製造時の消耗品: チタン、クロム、ジルコニウム、鉄、合金ターゲット。

高真空スロットルバルブを設定して、拡散ポンプのオイルリターンを減らします。 マグネトロンスパッタリング成膜プロセスでは、成膜圧力は一般に10-10-3 Paの範囲です。このとき、排気系として高真空拡散ポンプを使用するメインポンプは、ポンプ自体。 速度範囲、簡単なオイル戻りは、膜の品質に直接影響します。

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