大型チャンバーアークイオンプラズマコーティング機

アーク イオン プレーティングの原理は、冷陰極真空アーク放電の理論に基づいて研究されています。マルチアーク イオン コーティング マシンのコア技術は、そのアーク蒸発源です。 マルチアークイオンコーティング機の蒸発源は、冷陰極アーク放電の比較的特殊な自己蒸発および自己イオン化固体蒸発源です。

従来の蒸発源と比較して、マルチアーク イオン コーターのアーク蒸発源には明らかな特徴があります。

塗膜は高密度、長膜寿命、高強度です。

固体タイプのアーク蒸発源として、形状、大きさ、位置を変えることができます。

広い動作真空範囲;

より高いイオンエネルギー;

最大 60 パーセント -80 パーセントの高いイオン化率。

TiN などの高速成膜速度は、100nm/s ～ 1000nm/s の高速成膜速度を達成できます。

窒化チタンは、ガラスにコーティングされたフィルムとして使用できます。 赤外線反射率が７５％を超える場合、窒化チタン膜の厚さが９０ｎｍを超える場合、ガラスの断熱性能を効果的に向上させることができる。 さらに、窒化チタン中の窒素含有率を調整することにより、窒化チタン膜の色を変えることができ、それによって理想的な美的効果を達成することができる。

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応用

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