真空コーティング機真空コーティング機メーカー真空コーティング装置プロセスクリーニング

真空材料は、ワークピースまたはシステム材料の表面から汚染物質を除去するために、真空コーティング機の真空プロセスの前に洗浄されるべきである。ランプコーティング機の部品の表面洗浄も必要です, 汚染物質によって引き起こされるガスや蒸気源は、だけでなく、それは、真空システムが必要な真空度を得ることができませんので、.さらに、汚染物質の存在により、真空部品接続の強度およびシール性能にも影響する。

真空コーティング機汚染物質は「あらゆる種類の役に立たない物質またはエネルギー」と定義することができ、マルチアークイオンコーティング機は汚染物質の物理的状態に応じて固体、気体および液体に分けることができ、それらはフィルムまたは粒状の形で存在する。その化学的特性の点では、イオン性または共有結合状態であることができ、無機的または有機的であり得る。

空気にさらされる真空コーターの表面は、汚染に最も敏感である。汚染源はたくさんあります。初期汚染は、通常、表面自体の形成プロセスの一部である。吸着現象、化学反応、浸出・乾燥プロセス、機械的処理、拡散・偏析プロセスはすべて、さまざまな成分の表面汚染の増加に寄与します。真空材料の表面上の汚染物質のより一般的なタイプは次のとおりです。

(1)グリース:加工、組み立て、操作中に汚染された潤滑剤、切削液、真空グリースなど。

(2)水性:操作中の手の汗、吹き飛ばし中の水蒸気、唾液など。

(3)表面酸化物:材料が空気中に置かれるか、または湿った空気中に長時間置かれることによって形成される表面酸化物。

(4)酸、アルカリ、塩分:洗浄中の残留物質、手汗、水中のミネラルなど。

(5)周囲空気中の残留物やほこりなどの有機物を研磨する。

要件に応じて、真空コーティング機の洗浄面は、原子レベルの清浄面とプロセス技術清浄面の2つのカテゴリに分けることができます。

真空コーティング機の初期段階での洗浄作業は、多くのトラブルを軽減し、スパッタリング制御スパッタリングコーティング機における多くの小さな問題の発生を回避し、真空コーティング機の作業効率とコーティング品質に非常に良い影響を与えることができます。これは、様々な作業条件下で真空システム内のすべての容器壁および他のコンポーネント表面の作業安定性を大幅に改善することができる。これらの動作条件には、高温、低温、および電子、イオン、光子または重粒子の放出および衝撃が含まれる。