プラスチックUVニスコーティング機

比較的完全な真空システムは、通常、真空チャンバー、真空ユニット、パイプ、バルブ、真空測定装置、およびその他の真空コンポーネントと電気制御部品で構成されています。 真空システムの設計では、実際のニーズに応じて真空システムのシステム構造と構成を選択する必要があります。 共通の概念と性能状態には、真空度、到達真空度、リークレート、使用真空度などがあります。

(1) 真空度。真空状態でのガスの薄さの程度を指します。国際単位は Pa (Pa) で、通常は bar や Torr などの圧力単位でも表されます。 工学では、真空は一般に、圧力が 1 気圧を下回った後の容器内の低圧状態を指します。 真空領域の分割には統一された基準はありません。 米国真空協会の区分によると、真空は一般に 6 つの領域、すなわち低真空 (105~3.3×103Pa)、中真空 (3.3×103~10-1Pa)、高真空 ( 10-1~10-4Pa)、超高真空(10-4~10-7Pa)、超高真空(10-7~10-10Pa)非常に高い真空 (10-10Pa 以下)。 真空コーティングプロセスは、通常、中真空または高真空の範囲で機能します。

（2）到達真空度（Pa）とは、真空容器本体を無負荷で真空排気した後に到達できる最低圧力を指します。 到達真空度は、真空ユニットの到達圧力、実効排気速度、真空系のリークレート、容器壁のガス放出などの要因に左右され、通常24時間連続真空引きした後に測定を行います。 到達真空指数は、プロセスで必要とされる使用圧力範囲に従って決定する必要があります。通常、容器の到達真空が高いほど、真空システムのパフォーマンスが向上し、必要な作業背景を迅速に達成するのに役立ちます。真空状態。

(3) 空気漏れ率とも呼ばれる漏れ率 (Pa・L/s)。 ガスが特定の条件下で高圧側から低圧側に流れたときのリークを通るガスの流れを指します。 真空チャンバー本体が漏れるかどうかは相対的な概念であり、絶対に「漏れない」真空チャンバー本体はありません。真空漏れ検出後に漏れ率をテストし、最大許容漏れ率値よりも小さい場合は、容器は気密性があると考えてください。 コーティング装置では、真空チャンバー本体の漏れ率を測定するために、圧力上昇率または静的漏れ率がよく使用されます。 圧力上昇率とは、容器を一定の真空度まで排気した後、容器を真空装置から切り離し、一定時間の圧力上昇を測定することを意味します。 真空ユニットを遮断し、1 時間以内の圧力差と時間の比を測定して計算します。 そのため、真空装置の設計・製作過程において、真空システムの性能を確保するためには、リークレートを極力低減し、到達真空度を向上させる必要があります。 優れた真空性能指数は、プロセス効果を確保するための重要な基礎であり、真空システムの漏れ検出を適切に行うことは、実際に非常に重要です。 現在、圧力漏れ検出方法、真空漏れ検出方法、真空計漏れ検出方法など、プロジェクトの実際のニーズに応じて選択して使用する必要がある多くの漏れ検出方法があります。 大型の自動車ランプでコーティングされた真空チャンバー本体とパイプライン システムの場合、ヘリウム質量分析計リーク検出器を使用して、真空チャンバー本体のリークを検出できます。 加工、溶接、シーリング、組み立てなどの製造工程で厳格な品質管理を実施することによってのみ、塗装工程の良好な作業条件を作り出すことができます。

(4) 作業真空度、単位はPaです。コーティング作業真空とは、プロセス中の真空チャンバー内のガス圧力範囲を指します。 通常、真空チャンバーの到達圧力、リーク率、ユニットの実効排気速度、容器内のガス放出量、作動ガスの流量などの要因によって影響を受けます。 通常の状況では、使用真空度は到達真空度よりも 1 ～ 2 桁低くなければなりません。 到達真空度に近いものを選択すると、真空取得工程に多くの時間を浪費し、経済効果が低い。 真空チャンバー本体とコーティングプロセスが決定された後、真空ユニットの排気性能が使用真空度に最も大きな影響を与えます。 したがって、適切な真空ユニットを選択して、より高い作業効率を得ることができます。

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