真空塗装機の機構性能

既存の光学用真空コーティング機の使用における比較フィルム機構における既存の問題点を分析する。現代の光学真空コーティング機の開発動向と実際の生産で緊急に解決する必要がある問題に応じて、様々な研究と分析を通じて、新世代のコーティング機の設計を最適化してフィルムの構造を比較し、光学薄膜と超多層精密光学薄膜コーティングの品質に影響を与える問題を解決します。フィルムの監視精度を向上させるために、システムの自動制御を実現し、光学真空コーティング機の生産効率を向上させ、生産コストを削減します。最高のものを達成するために、現代の光学真空コーティング機の構造構成と使用効果を作ります。

1980年代以降、世界的な光電子技術は急速に発展し、進歩してきました。私の国の光学真空コーティング機装置の研究開発も、導入、消化、吸収に基づいて急速に発展しました。この20年の間に、私の国は徐々に世界の光学製品の加工拠点になりました。光学製品の重要なプロセスとして、それはまた最後のプロセスコーティングであり、要件はますます高くなっています。真空コーティング機の性能と構成も強化し、改善する必要があります。設備の品質向上、設備性能の向上、生産効率の向上などの課題が顕在化し、その変革・設計・開発には関連する技術者の解決が求められています。

真空コーティング機の比較機構は、この種の装置に不可欠な重要な要素です。ハイエンド機器は、比較メカニズムに対する要件がますます高くなっています。真空技術ネットワークは、多層コーティングの検出と生産効率に重要な役割を果たしていると考えています。かけがえのない役割。以下は、真空コーティング機の使用における比較膜機構の問題点、ならびに最適化後の構造および革新的な設計の比較分析である。

1. 既存の真空塗装機が製膜機構を比較

一般的なコーティング機比較シート構造

国内のローエンド真空コーティング機は、開発当初から約10年間、図1に示すように、この比較フィルム構造をほとんどまだ使用しています。この比較ピース転置機構は、図1(b)に示すように、通常、直径Φ22mmの6個の独立した比較ピースで構成されています。この機構は、主にトレイ16、3本の支持棒110及び比較板18からなり、図1(a)に示すように、3本の支持棒110がトレイ16を固定支持する役割を果たし、比較板18はトレイ16に近接している。歯車噛み合いハンドルのモーション入力によりパドルが回転し、3つの組み合わせでパドルのシフトが完了します。一般的な塗装機の真空チャンバの直径は大きくないため、機構全体の直径(Φ124mm)は比較的大きく、その結果、ワーク板に積載できるめっきワークの面積が比較的小さく、機構は比較シート13を6枚しか配置できず、生産効率に直接影響する。

この構造の特徴は、シンプルな構造、便利な加工と製造、便利で簡単な設置と実装です。短所:構造の直径と面積は比較的大きく、ロードされたワークピースの数に影響します。配置されたパリティ錠剤の数が少なく、生産効率が低下する。強度と剛性は限られており、構造が真空チャンバ内で完全に露出しているため、真空チャンバ内の高温スパッタ研磨剤の影響により、回転を安定かつ柔軟にし、繰り返し透過位置の一貫性誤差が大きく、洗浄とメンテナンスが頻繁に行われます